武汉工程大学与兴发集团携手奔赴前沿创新 创新重器 三峡实验室"出征"

湖北三峡实验室全景

2021年，为推动科技强省建设，我省组建了9家湖北实验室，位于宜昌的湖北三峡实验室是其中之一。它的使命，是通过自主创新，寻求一条解决磷石膏综合利用的科技路径，突破微电子关键化学品和新能源关键材料的"卡脖子"瓶颈，开发磷系阻燃剂等磷基高端化学品等等。

去年12月21日，由兴发集团牵头，联合中科院过程所、武汉工程大学等11家单位，三峡实验室正式揭牌，创新"出征"。它也将成为宜昌建设区域科技创新中心的硬核牵引。

出任湖北三峡实验室主任和首席科学家的，正是中低品位磷矿资源开发利用湖北省协同创新中心主任池汝安教授。

他介绍，三峡实验室主要聚焦六大研究方向，摆在首位的就是磷石膏综合利用，这也是当前磷化工产业最迫切的难题。此外还包括微电子关键化学品、磷基高端化学品、硅系基础化学品、新能源关键材料和化工高效装备与智能控制等。

"未来的化工要干什么、怎么干，是我们必须深层思考的问题，它必须是绿色的、位于产业链和价值链高端的、可持续的。"宜昌兴发集团党委副书记、总经理袁兵说，三峡实验室的其中一个重要课题，是研发超高纯湿电子化学品，包括电子级磷酸、电子级硫酸、电子级氢氟酸等。它们主要是在大规模集成电路、薄膜液晶显示器、半导体等微电子工业中，用于芯片制造的清洗和蚀刻。

他介绍，在一个指甲盖大小的芯片上，含有数亿个电子元件，芯片制造有数百道工序，需要重复进行光刻、显影、蚀刻、薄膜等工艺。每一道工序结束后，在进行下一道工序之前，都会用到大量的湿电子化学品。在过去，像超高纯电子级磷酸、电子级蚀刻液等关键材料，几乎完全依赖进口。

为了攀向电子级化学品产业链的最高端，兴发从追跑到与日韩巨头并跑，已经奋斗了10余年。"芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术"在兴发集团实现了产业转化，让磷酸纯度从"6个9"提升到"9个9"。目前，兴发集团电子级磷酸产品年产能已达3万吨。"我们终于能够生产出媲美国外的超高纯度电子磷酸试剂。"